LTUF300S 是一臺集多功能性和智能化于一體的激光晶圓自動切割系統(tǒng)。多功能體現(xiàn)在可用于LOW-K, WLP 等多種表面材料的晶圓切割。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備CCD 圖像定位系統(tǒng)、自動校準(zhǔn)系統(tǒng)、隨動系統(tǒng)、全自動上下料系統(tǒng)和常規(guī)應(yīng)用的數(shù)據(jù)庫自動調(diào)用系統(tǒng)。

一、高可靠的批量生產(chǎn)系統(tǒng)

◆ 抗振的大理石平臺支撐結(jié)構(gòu)
◆ 低維護(hù)成本的飛秒激光器
◆ 獨有的激光表切技術(shù)
◆ 全自動上下料系統(tǒng)
◆ 高精度長壽命的運動平臺
◆ CCD定位系統(tǒng)使加工智能化
◆ 精密的陶瓷微孔吸盤
◆ 自動對焦系統(tǒng)保證加工的焦點位置
◆ 科學(xué)的結(jié)構(gòu)保證加工穩(wěn)定性
◆ 用戶界面友好軟件功能強大

二、技術(shù)特點